精密研磨工艺是使用比工件材料(　　　　　)的研具、极细的游离磨料和润滑剂，在低速、低压下，使被加工表面和研具间产生相对运动并加压，使磨料产生微量切削、挤压等作用，从而去除工件表面的凸峰，使表面精度得以提高，表面粗糙度值得以降低。