单晶硅谐振式压力(差压)变送器在单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术，在其表面的中心和边缘制作成两个形状、大小完全一致的H形状的谐振梁，分别将压力或差压信号转换为( )，送到脉冲计数器，再将两频率之差直接送到微处理器进行数据处理，将D／A转换后输出4～20

admin2018-06-18 101

问题单晶硅谐振式压力(差压)变送器在单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术，在其表面的中心和边缘制作成两个形状、大小完全一致的H形状的谐振梁，分别将压力或差压信号转换为( )，送到脉冲计数器，再将两频率之差直接送到微处理器进行数据处理，将D／A转换后输出4～20mA DC信号，两频率之差对应不同的压力信号。

选项 A、电流信号
B、电压信号
C、电容变化
D、频率信号